常见的金属元素检测中，原子吸收光谱利用原子光谱中单色光照射，只能检测一种元素的含量，不过检测限比较低而且重现性比较好。ICP-OES是原子发射光谱，检测原子光谱中的多条谱线，检测限也比较低，而且多通道可以同时检测多种原子和离子，比较方便，重现性也不错。ICP-MS是ICP质谱联用，利用质谱检测同位素含量来检测元素的含量，检出限最低，效果最理想。
ICP-MS是一个以质谱仪作为检测器的等离子体(ICP)，而质谱学家则认为ICP-MS是一个以ICP为源的质谱仪。事实上，ICP-OES和ICP-MS的进样部分及等离子体极其相似。ICP-OES测量的是光学光谱(165～800nm)，ICP-MS测量的是离子质谱，提供在3～250amu范围内每一个原子质量单位的信息，因此，ICP-MS除了元素含量测定外，还可测量同位素。
适用范围：AAS用于已知元素含量的检测;ICP可以用于已知，也可以用于未知，适合多元素分析;ICP-MS由于比较贵而且检出限最低，一般是用作标准测量的时候。
ICP-MS的检出限给人极深刻的印象，其溶液的检出限大部份为ppt级，石墨炉AAS的检出限为亚ppb级，ICP-OES大部份元素的检出限为1~10ppb，一些元素在洁净的试样中也可得到令人注目的亚ppb级的检出限。而ICP-MS的ppt级检出限是针对溶液中溶解物质很少的单纯溶液而言的，若涉及固体中浓度的检出限，由于ICP-MS的耐盐量较差，ICP-MS检出限的优点会变差多达50倍。一些普通的轻元素(如S、Ca、Fe 、K、Se)在ICP-MS中有严重的干扰，也将恶化其检出限。
两种质谱仪器其特点：
ICP-OES：电感耦合等离子体发射光谱仪，它是ICP结合原子发射光谱技术形成的分析仪器:样品在等离子体中吸收能量，解离的各待测元素元素原子从激发态回到基态时发射出光谱，不同的元素有特定能量的特征谱线，检测元素特征谱线可对样品进行定性和定量分析。
ICP- OES 仪器配备一种专为用户设计的CCD检测器，具有独特的图像映射技术(l-MAP)，可提供167~785nm的全波长覆盖模式，最快35s内实现72种元素测定， ICP-OES法是各种分析方法中干扰较小的一种，一般情况下其相对标准偏差<10% ，当分析物浓度超过100 倍检出限时， 相对标准偏差<1%，对应浓度为PPM(mg/L)级别;可分析的元素为大多数的金属和硅、磷、硫等少数非金属，多种元素。
ICP-MS全称是电感耦合等离子体质谱(Inductively coupled plasma-Mass Spectrometry)，它是一种将电感耦合和质谱结合在一起的分析仪器，它能同时测定几十种痕量无机元素。该设备适用于痕量及超痕量多元素分析、同位素比值分析。
