真空是指在一个指定空间内低于一个标准大气压力的气体状态,此状态下气体的稀薄程度称为真空度。通常真空度用百分数来表示。如真空度为10%,意味着空间的10%的气体已被抽出。真空度和气体压强的关系为:
真空度=(101323.2-p)/101323.2
式中,p为真空系统内的实际压强,国际单位是帕(Pa)。传统仪器厂家使用的压强单位还有托(Torr)或毫巴(mbar),和帕斯卡(Pa)的换算关系如下:
1mbar=0.75Torr-100Pa
系统内的压强越低,则真空度越高,表示系统内的气体被抽出得越多。如今,人们已经习惯于用真空系统内的压强数值来表示真空的状态。
通常按照空间内气体压强的范围,把真空划分为粗真空、低真空、高真空、超高真空和极高真空见下表
不同真空的压强范围
真空划分 |
气体压强/Pa |
粗真空 |
1.013×105~1.333×103 |
低真空 |
1.333×103~1.333×10-1 |
高真空 |
1.333×10-1~1.333×10-6 |
超高真空 |
1.333×10-6~1.333×10-10 |
极高真空 |
<1.333×10-10 |
质谱需要高真空部分有离子源、质量分析器、检测器,前级机械泵提供低真空度,再由扩散泵提供高度真空,通常真空度达到10-6Torr。
质谱检测的是气相离子,离子从离子源到达检测器不能偏离正常轨道,为了精确控制离子的运动轨迹,保证离子束有良好的聚焦,得到应有的分辨率和灵敏度,就需要限制影响离子运动的各种因素。离子运动除了受电、磁场力的作用外,还和温度,压强有关,当压强较高时,气体密度大,离子与气体分子发生碰撞的概率高,碰撞会使离子运动方向发生偏离正常轨道。在较低压强下,离子运动才会有足够的平均自由程,相互不会发生碰撞。
当然除此之外,还有诸多质谱需要真空度的理由,真空度对灯丝的保护,降低本底干扰等等,所以真空不仅是质谱正常运行的基本条件,也是保证仪器灵敏度的重要因素。